Некоторые дефекты, например точечные отверстия в изолирующих пленках, не удается выявить с помощью только оптических ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Клюев В.В.
Машиностроение Энциклопедия Т IV-3
Некоторые дефекты, например точечные отверстия в изолирующих пленках, не удается выявить с помощью только оптических средств. В этих случаях применяют различные химические методы в сочетании с последующим оптическим контролем. Так, для обнаружения точечных дефектов в двуокиси кремния может быть применен электролиз в ванне из метилового спирта с использованием в качестве анода ( или катода) различных участков ( или токопроводящих поверхностей) кристалла дефектной микросхемы.