Некоторые дефекты, например точечные отверстия в изолирующих пленках, не удается выявить с помощью только оптических ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Клюев В.В. Машиностроение Энциклопедия Т IV-3


Некоторые дефекты, например точечные отверстия в изолирующих пленках, не удается выявить с помощью только оптических средств. В этих случаях применяют различные химические методы в сочетании с последующим оптическим контролем. Так, для обнаружения точечных дефектов в двуокиси кремния может быть применен электролиз в ванне из метилового спирта с использованием в качестве анода ( или катода) различных участков ( или токопроводящих поверхностей) кристалла дефектной микросхемы.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Некоторые дефекты,  например точечные отверстия в изолирующих пленках,  не удается выявить с помощью только оптических средств.  В этих случаях применяют различные химические методы в сочетании с последующим оптическим контролем.  Так,  для обнаружения точечных дефектов в двуокиси кремния может быть применен электролиз в ванне из метилового спирта с использованием в качестве анода ( или катода) различных участков ( или токопроводящих поверхностей) кристалла дефектной микросхемы.