Принцип работы источника на основе разряда Пеннинга состоит в следующем. Ионы полученной низкотемпературной плазмы за ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Машков Ю.К.
Трение и модифицирование трибосистем
Принцип работы источника на основе разряда Пеннинга состоит в следующем. Ионы полученной низкотемпературной плазмы за счет потенциала мишени вытягиваются из газоразрядного промежутка и производят катодное распыление металлической мишени. Полученная смесь ионов газа и металла при подаче ускоряющего напряжения бомбардирует подложку с находящимися на ней образцами. Замена типа ионов очень проста и состоит либо в замене рабочего газа, либо в замене мста.