Принцип работы источника на основе разряда Пеннинга состоит в следующем. Ионы полученной низкотемпературной плазмы за ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Машков Ю.К. Трение и модифицирование трибосистем


Принцип работы источника на основе разряда Пеннинга состоит в следующем. Ионы полученной низкотемпературной плазмы за счет потенциала мишени вытягиваются из газоразрядного промежутка и производят катодное распыление металлической мишени. Полученная смесь ионов газа и металла при подаче ускоряющего напряжения бомбардирует подложку с находящимися на ней образцами. Замена типа ионов очень проста и состоит либо в замене рабочего газа, либо в замене мста.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Принцип работы источника на основе разряда Пеннинга состоит в следующем.  Ионы полученной низкотемпературной плазмы за счет потенциала мишени вытягиваются из газоразрядного промежутка и производят катодное распыление металлической мишени.  Полученная смесь ионов газа и металла при подаче ускоряющего напряжения бомбардирует подложку с находящимися на ней образцами.  Замена типа ионов очень проста и состоит либо в замене рабочего газа,  либо в замене мста.