Одним из основных показателей качества гетероэпитак-сиальных слоев кремния на сапфире является значение подвижности носителей, зависящее ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Одним из основных показателей качества гетероэпитак-сиальных слоев кремния на сапфире является значение подвижности носителей, зависящее от степени совершенства структуры слоя, механических напряжений и уровня содержания примесей. Обычно подвижность в эпислоях составляет TOSS и 45 - 55 % от подвижности в кристаллах для образцов с р - и n - типами электропроводности соответственно. При получении слоев р-типа верхний предел подвижности определяется главным образом скоростью роста слоя и уменьшается с ее увеличением. Высокую подвижность в слоях и-типа получить трудно, что связано с компенсацией слоя алюминием в процессе автолегирования из подложки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Одним из основных показателей качества гетероэпитак-сиальных слоев кремния на сапфире является значение подвижности носителей, зависящее от степени совершенства структуры слоя, механических напряжений и уровня содержания примесей. Обычно подвижность в эпислоях составляет TOSS и 45 - 55 % от подвижности в кристаллах для образцов с р - и n - типами электропроводности соответственно. При получении слоев р-типа верхний предел подвижности определяется главным образом скоростью роста слоя и уменьшается с ее увеличением. Высокую подвижность в слоях и-типа получить трудно, что связано с компенсацией слоя алюминием в процессе автолегирования из подложки.