Необходимо лишь получить хороший прижим фотошаблона к пленке фоторезиста, обеспечив отсутствие зазора по всей площади ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Боков Ю.С. Введение в фотолитографию


Необходимо лишь получить хороший прижим фотошаблона к пленке фоторезиста, обеспечив отсутствие зазора по всей площади и создать осветитель с коллимированным световым потоком, равномерно распределенным по всей рабочей площади фотошаблона. Решение этого вопроса хотя и представляет определенные трудности, но они существенно меньше, чем трудности создания проекционных объективов с большими полями изображения и предельным разрешением.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Необходимо лишь получить хороший прижим фотошаблона к пленке фоторезиста, обеспечив отсутствие зазора по всей площади и создать осветитель с коллимированным световым потоком, равномерно распределенным по всей рабочей площади фотошаблона. Решение этого вопроса хотя и представляет определенные трудности, но они существенно меньше, чем трудности создания проекционных объективов с большими полями изображения и предельным разрешением.