В эпитаксиальных пленках кремния на шпинели часто образуется развитая система двойниковых прослоек. Природа дефектов выявляется ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
В эпитаксиальных пленках кремния на шпинели часто образуется развитая система двойниковых прослоек. Природа дефектов выявляется с помощью электронно-микроскопического снимка реплики с поверхности утоненного участка пленки.
