Как показано на рис. 4.62, в этом методе используется верхний слой резиста, содержащий краситель ( ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Сугайто Т.N. Введение в микроэлектронику


Как показано на рис. 4.62, в этом методе используется верхний слой резиста, содержащий краситель ( нитрозосоединение), выцветающий в результате облучения, что позволяет повышать контраст при экспонировании нижнего обычного слоя резиста. В настоящее время внимание обращено к проблеме улучшения разрешающей способности этого метода в случае низкого разрешения установки экспонирования. Естественным недостатком метода литографии с повышенным контрастом является увеличение продолжительности экспонирования.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Как показано на рис. 4.62,  в этом методе используется верхний слой резиста,  содержащий краситель ( нитрозосоединение),  выцветающий в результате облучения,  что позволяет повышать контраст при экспонировании нижнего обычного слоя резиста.  В настоящее время внимание обращено к проблеме улучшения разрешающей способности этого метода в случае низкого разрешения установки экспонирования.  Естественным недостатком метода литографии с повышенным контрастом является увеличение продолжительности экспонирования.