Выдержка из книги
Сугайто Т.N.
Введение в микроэлектронику
Как показано на рис. 4.62, в этом методе используется верхний слой резиста, содержащий краситель ( нитрозосоединение), выцветающий в результате облучения, что позволяет повышать контраст при экспонировании нижнего обычного слоя резиста. В настоящее время внимание обращено к проблеме улучшения разрешающей способности этого метода в случае низкого разрешения установки экспонирования. Естественным недостатком метода литографии с повышенным контрастом является увеличение продолжительности экспонирования.