Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Парфенов О.Д.
Технология микросхем
Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном производстве ИС многотрубных печей, в которых кварцевые трубы располагают параллельно друг другу.