Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Парфенов О.Д. Технология микросхем


Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном производстве ИС многотрубных печей, в которых кварцевые трубы располагают параллельно друг другу.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Сложность и высокая стоимость диффузионных печей при ограниченной загрузке пластинами обусловливают необходимость применения в серийном производстве ИС многотрубных печей,  в которых кварцевые трубы располагают параллельно друг другу.