В табл. 3 приведены свойства тонких диэлектрических пленок, получаемых различными способами. Практическая величина С ( ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 2


В табл. 3 приведены свойства тонких диэлектрических пленок, получаемых различными способами. Практическая величина С ( мкФ - см-2 дается в дополнение к диэлектрической проницаемости. Указанные значения взяты из различных работ. Широкие исследования диэлектрических пленок продолжаются, поэтому данные таблицы не могут дать полную информацию о пленках с лучшими свойствами. Однако эти данные могут служить определенным руководящим материалом. Обычно используются алюминиевые электроды, полученные напылением, которые дают локализованный пробой. В том случае, когда диэлектрическая проницаемость превышает 100, можно предполагать, что пленки имеют кристаллическую структуру.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В табл. 3 приведены свойства тонких диэлектрических пленок, получаемых различными способами. Практическая величина С ( мкФ - см-2 дается в дополнение к диэлектрической проницаемости. Указанные значения взяты из различных работ. Широкие исследования диэлектрических пленок продолжаются, поэтому данные таблицы не могут дать полную информацию о пленках с лучшими свойствами. Однако эти данные могут служить определенным руководящим материалом. Обычно используются алюминиевые электроды, полученные напылением, которые дают локализованный пробой. В том случае, когда диэлектрическая проницаемость превышает 100, можно предполагать, что пленки имеют кристаллическую структуру.