Нанесение проводящих пленок в вакууме групповым методом является одним из наиболее технологичных методов изготовления подобных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
Нанесение проводящих пленок в вакууме групповым методом является одним из наиболее технологичных методов изготовления подобных элементов. Этот метод позволяет осуществлять контроль толщины и распределения конденсата на подложке, достигнуть высокой степени чистоты, а также требуемых физико-механических и электрофизических свойств. Использование неконтактных ( щелевых трафаретов) или контактных ( фоторезистов) масок обеспечивает нанесение проводящих дорожек и многослойных композиций. Недостатком метода является сложность нанесения многокомпонентных материалов ( сплавов, интерметаллидов, металлостеклян-ных и эмалевых смесей), которые, однако, мало используются в качестве проводящих пленочных проводников. Недостатком, по сравнению с толстопленочной технологией, является относительно высокая стоимость тонкопленочных систем межсоединений в микросхемах, выпускаемых небольшими партиями.
