Это позволяет изменять операции изготовления приборов с помощью набора фотошабл9нов и изменения режимов диффузии примесей. ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гранитов Г.И.
Физика полупроводников и полупроводниковые приборы
Это позволяет изменять операции изготовления приборов с помощью набора фотошабл9нов и изменения режимов диффузии примесей. Технологическое оборудование при этом не изменяется.