После резки и определения соответствия сопротивления монокристалла заданному виду марки калибруют монокристалл для придания ему ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Филькевич Э.С. Технология полупроводникового кремния


После резки и определения соответствия сопротивления монокристалла заданному виду марки калибруют монокристалл для придания ему требуемого диаметра и строго цилиндрической формы. Калибровку монокристаллов проводят на круглошлифовальных станках типа ХШ1 - Ю6Ф2 или ЗМ152 алмазным шлифовальным кругом с зернистостью 80 / 63 мкм ( для грубой обработки) и 40 / 28 мкм для тонкой обработки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

После резки и определения соответствия сопротивления монокристалла заданному виду марки калибруют монокристалл для придания ему требуемого диаметра и строго цилиндрической формы.  Калибровку монокристаллов проводят на круглошлифовальных станках типа ХШ1 - Ю6Ф2 или ЗМ152 алмазным шлифовальным кругом с зернистостью 80 / 63 мкм ( для грубой обработки) и 40 / 28 мкм для тонкой обработки.