Взаимодействие кремния с хлористым водородом может быть осуществлено, как путем пропускания газа через стационарный слой ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Взаимодействие кремния с хлористым водородом может быть осуществлено, как путем пропускания газа через стационарный слой кремния, так и во взвешенном слое, в виде непрерывного и полунепрерывного процесса.