Выдержка из книги
Материалы М.К.
Углерод - фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология
Исследовано осаждение а - С: Н пленок в высокочастотном тлеющем разряде в углеводородной среде по трехэлектродной и двухэлектродной схемам на подложки из полиэтилентерефтолата и стекла. Во втором случае система была асимметрична: маленький центральный электрод, к которому подводилась частота 250 кГц и который служил подложкодержателем, и большой заземленный экран-электрод. Благодаря автоматическому напряжению смещения ионы ускоряются к подложке и происходит рост углеродной пленки. Исследована скорость осаждения а - С: Н пленок: она слабо зависит от давления метана и имеет линейную зависимость от напряжения смещения. Прирост пленки как функция времени осаждения линеен для обоих типов подложек.
