Одними из важнейших параметров тонких оксидных пленок на кремнии являются поверхностный заряд Q9V, плотность поверхностных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Угай Я.А. Практикум по химии и технологии полупроводников


Одними из важнейших параметров тонких оксидных пленок на кремнии являются поверхностный заряд Q9V, плотность поверхностных состояний Nss ( ss - surface states), а также величина объемного заряда Qv и его плотность NV Последние две величины определяются в основном состоянием самого окисла, его дефектностью и наличием примесей в его объеме.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Одними из важнейших параметров тонких оксидных пленок на кремнии являются поверхностный заряд Q9V, плотность поверхностных состояний Nss ( ss - surface states), а также величина объемного заряда Qv и его плотность NV Последние две величины определяются в основном состоянием самого окисла, его дефектностью и наличием примесей в его объеме.