В эпитаксиальных пленках кремния часто наблюдаются пирамидальные макроскопические выступы на поверхности, часто называемые трипирамидами, а ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
В эпитаксиальных пленках кремния часто наблюдаются пирамидальные макроскопические выступы на поверхности, часто называемые трипирамидами, а также сопряженные с ними дефекты.