При использовании микрокристаллических легированных фосфором пленок очень важно знать, сохраняется ли их кристалличность при такой ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Хамакава И.N. Аморфные полупроводники и приборы на их основе


При использовании микрокристаллических легированных фосфором пленок очень важно знать, сохраняется ли их кристалличность при такой малой толщине. Этот вопрос был исследован с помощью дифракции электронов на пленках, осажденных при высокой мощности разряда на нелегированную пленку a - Si: Н толщиной 1 мкм.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

При использовании микрокристаллических легированных фосфором пленок очень важно знать,  сохраняется ли их кристалличность при такой малой толщине.  Этот вопрос был исследован с помощью дифракции электронов на пленках,  осажденных при высокой мощности разряда на нелегированную пленку a - Si:  Н толщиной 1 мкм.