Недостатком метода является то, что для измерения потока газа с достаточной точностью необходимо использовать диафрагму ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пипко А.И. Основы вакуумной техники Издание 2


Недостатком метода является то, что для измерения потока газа с достаточной точностью необходимо использовать диафрагму малой проводимости, чтобы создать разность давлений, отличающихся в 3 - 10 раз. Столь значительная разность давлений приводит к существенному повышению давления в полости обрабатываемого прибора из-за сильного ограничения быстроты его откачки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Недостатком метода является то,  что для измерения потока газа с достаточной точностью необходимо использовать диафрагму малой проводимости,  чтобы создать разность давлений,  отличающихся в 3 - 10 раз.  Столь значительная разность давлений приводит к существенному повышению давления в полости обрабатываемого прибора из-за сильного ограничения быстроты его откачки.