Недостатком метода является то, что для измерения потока газа с достаточной точностью необходимо использовать диафрагму ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пипко А.И.
Основы вакуумной техники Издание 2
Недостатком метода является то, что для измерения потока газа с достаточной точностью необходимо использовать диафрагму малой проводимости, чтобы создать разность давлений, отличающихся в 3 - 10 раз. Столь значительная разность давлений приводит к существенному повышению давления в полости обрабатываемого прибора из-за сильного ограничения быстроты его откачки.