Процесс электрохимической обработки ( полировки) основан на вводном растворении германия и кремния. Во время полировки ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства Издание 2


Процесс электрохимической обработки ( полировки) основан на вводном растворении германия и кремния. Во время полировки скорость растворения микровыступов превышает скорость растворения микровпадин на поверхности пластин. В результате полировки получают чистую ( V13 - V14 - ro классов чистоты) и ровную неплоскостность 1 - 2 мкм / см на 80 % площади пластины) поверхность пластин. Кроме того, при электрохимической полировке происходит удаление нарушенного слоя, образовавшегося при механической обработке пластин, и вскрытие дефектов кристаллической решетки полупроводников.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Процесс электрохимической обработки ( полировки) основан на вводном растворении германия и кремния. Во время полировки скорость растворения микровыступов превышает скорость растворения микровпадин на поверхности пластин. В результате полировки получают чистую ( V13 - V14 - ro классов чистоты) и ровную неплоскостность 1 - 2 мкм / см на 80 % площади пластины) поверхность пластин. Кроме того, при электрохимической полировке происходит удаление нарушенного слоя, образовавшегося при механической обработке пластин, и вскрытие дефектов кристаллической решетки полупроводников.