В большинстве случаев приводятся данные о точечных дефектах в весьма протяженном ( 500 - 2000 ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Вавилов В.С. Дефекты в кремнии и на его поверхности


В большинстве случаев приводятся данные о точечных дефектах в весьма протяженном ( 500 - 2000 нм) приповерхностном слое кремния. Наблюдаемые на кривых ( НЕСГУ) сравнительно узкие пики этих дефектов свидетельствуют об их локализации в упорядоченной периодической структуре кремния. Их следует рассматривать как объемные дефекты. Весь этот круг вопросов представляет самостоятельный раздел физики полупроводников, и мы отсылаем читателя к весьма содержательной монографий [276], посвященной указанным проблемам.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В большинстве случаев приводятся данные о точечных дефектах в весьма протяженном ( 500 - 2000 нм) приповерхностном слое кремния. Наблюдаемые на кривых ( НЕСГУ) сравнительно узкие пики этих дефектов свидетельствуют об их локализации в упорядоченной периодической структуре кремния. Их следует рассматривать как объемные дефекты. Весь этот круг вопросов представляет самостоятельный раздел физики полупроводников, и мы отсылаем читателя к весьма содержательной монографий [276], посвященной указанным проблемам.