Во избежание появления дефектов типа короткого замыкания шин на этом этапе необходимо тщательно контролировать все ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Ефимов И.Е. Микроэлектроника


Во избежание появления дефектов типа короткого замыкания шин на этом этапе необходимо тщательно контролировать все операции фотолитографии. Точность и разрешающая способность фотолитографии в значительной степени определяют плотность упаковки элементов МДП-ИМС. Допуск на перекрытие в шаблоне металлизации рассчитывают так, чтобы все области тонкого окисла под затворами были полностью покрыты металлом. Это исключает возможность появления паразитных МДП-транзисторов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Во избежание появления дефектов типа короткого замыкания шин на этом этапе необходимо тщательно контролировать все операции фотолитографии.  Точность и разрешающая способность фотолитографии в значительной степени определяют плотность упаковки элементов МДП-ИМС.  Допуск на перекрытие в шаблоне металлизации рассчитывают так,  чтобы все области тонкого окисла под затворами были полностью покрыты металлом.  Это исключает возможность появления паразитных МДП-транзисторов.