Затем вновь производят операцию окисления, в процессе которой наращивают тонкий слой окисла под затвором. Эту ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Затем вновь производят операцию окисления, в процессе которой наращивают тонкий слой окисла под затвором. Эту операцию осуществляют в атмосфере сухого кислорода, а толщину наращиваемого слоя окисла строго контролируют. Одновременно на этом этапе контролируют плотность состояний QOK на границе раздела кремний - окисел. Поскольку эта плотность оказывает решающее влияние на величину и характер изменения порогового напряжения, очень важно обеспечить высокую воспроизводимость операции получения тонкого окисла.
