В процессе термического окисления кремния в его приповерхностной области помимо генерации собственных дефектов ( типарй-центров) ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Вавилов В.С.
Дефекты в кремнии и на его поверхности
В процессе термического окисления кремния в его приповерхностной области помимо генерации собственных дефектов ( типарй-центров) происходит существенное перераспределение примесных атомов. При термообработке примесные атомы фосфора диффундируют из объема кремния в его приповерхностную область, приводя к инверсии типа проводимости.
