В процессе термического окисления кремния в его приповерхностной области помимо генерации собственных дефектов ( типарй-центров) ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Вавилов В.С. Дефекты в кремнии и на его поверхности


В процессе термического окисления кремния в его приповерхностной области помимо генерации собственных дефектов ( типарй-центров) происходит существенное перераспределение примесных атомов. При термообработке примесные атомы фосфора диффундируют из объема кремния в его приповерхностную область, приводя к инверсии типа проводимости.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В процессе термического окисления кремния в его приповерхностной области помимо генерации собственных дефектов ( типарй-центров) происходит существенное перераспределение примесных атомов.  При термообработке примесные атомы фосфора диффундируют из объема кремния в его приповерхностную область,  приводя к инверсии типа проводимости.