Таким образом, распределение концентрации примеси в этом случае зависит от поверхностной концентрации примеси Ns, коэффициента ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Борисенко А.С. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств


Таким образом, распределение концентрации примеси в этом случае зависит от поверхностной концентрации примеси Ns, коэффициента диффузии примеси D и времени диффузии / и происходит по закону дополнительной функции ошибок.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Таким образом, распределение концентрации примеси в этом случае зависит от поверхностной концентрации примеси Ns, коэффициента диффузии примеси D и времени диффузии / и происходит по закону дополнительной функции ошибок.