Толщина проводников определяется заданной проводимостью и спецификой технологии, которая состоит в том, что при нанесении ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Боков Ю.С. Введение в фотолитографию


Толщина проводников определяется заданной проводимостью и спецификой технологии, которая состоит в том, что при нанесении верхнего проводника ( рис. 7 - 11) его толщина должна быть соизмерима с толщиной изолирующего слоя. Кроме того, следует принимать во внимание технологическую совместимость процессов и материалов, к которым также относятся химические взаимодействия материалов, температура и др. Это обстоятельство выдвигает много дополнительных проблем, требующих решения.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Толщина проводников определяется заданной проводимостью и спецификой технологии, которая состоит в том, что при нанесении верхнего проводника ( рис. 7 - 11) его толщина должна быть соизмерима с толщиной изолирующего слоя. Кроме того, следует принимать во внимание технологическую совместимость процессов и материалов, к которым также относятся химические взаимодействия материалов, температура и др. Это обстоятельство выдвигает много дополнительных проблем, требующих решения.