Установлено, что в зависимости от условий осаждения состав получаемой пленки может меняться от чистого молибдена ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
Установлено, что в зависимости от условий осаждения состав получаемой пленки может меняться от чистого молибдена до карбидов молибдена различной модификации. На основании электронографического анализа установлено [ 4Г) 5 ], что при облучении электронами подложки с температурой от нуля до 300 С в присутствии ларов гексакарбопила молибдена образуются пленки карбида молибдена кубической структуры. Отмечается, что при нагревании в вакууме 2 - К) 6 мм рт. ст. до температуры 650J С и выше из пленок МоС кубической структуры образуются пленки МоаС гексагональной структуры. Авторы считают, что пленки карбида молибдена кубической структуры па подложках с температурой пи / ко 400 С в настоящее время могут быть получены только методом непосредственного разложения электронным лучом.