Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
На рис. 10 - 27 показано изменение сопротивления при нагреве в вакууме 5 - 10 - мм рт. ст. пленки карбида молибдена толщиной 200 А, имевшей после осаждения сопротивление WO ом. При нагреве до 200 С ( кривая 1 - 2) сколько-нибудь заметного необратимого изменения электрического сопротивления не наблюдается.