На рис. 10 - 27 показано изменение сопротивления при нагреве в вакууме 5 - 10 ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


На рис. 10 - 27 показано изменение сопротивления при нагреве в вакууме 5 - 10 - мм рт. ст. пленки карбида молибдена толщиной 200 А, имевшей после осаждения сопротивление WO ом. При нагреве до 200 С ( кривая 1 - 2) сколько-нибудь заметного необратимого изменения электрического сопротивления не наблюдается.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

На рис. 10 - 27 показано изменение сопротивления при нагреве в вакууме 5 - 10 - мм рт. ст. пленки карбида молибдена толщиной 200 А,  имевшей после осаждения сопротивление WO ом.  При нагреве до 200 С ( кривая 1 - 2) сколько-нибудь заметного необратимого изменения электрического сопротивления не наблюдается.