Полиимидная пленка отжигалась 30 мин в вакууме при 300 С. Слой a - Si: Н ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Хамакава И.N. Аморфные полупроводники и приборы на их основе


Полиимидная пленка отжигалась 30 мин в вакууме при 300 С. Слой a - Si: Н на структуре полиимид-ная пленка / распыленная Нерж.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Полиимидная пленка отжигалась 30 мин в вакууме при 300 С.  Слой a - Si:  Н на структуре полиимид-ная пленка / распыленная Нерж.