Он достаточно хорошо обеспечивает выполнение большинства требований: его легко наносить и обрабатывать; удельное сопротивление имеет ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 2


Он достаточно хорошо обеспечивает выполнение большинства требований: его легко наносить и обрабатывать; удельное сопротивление имеет величину около 3 10 - 6 Ом см; он имеет хорошую адгезию к кремнию и SiO2, легко обеспечивает внешние соединения; образует хорошие омические контакты с кремнием; выдерживает плотности тока более 105 А / см2 при 150 С. Более того, алюминий относительно стоек против окисления и стабилен вплоть до температуры эвтектики с кремнием ( 577 С) в течение коротких промежутков времени.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Он достаточно хорошо обеспечивает выполнение большинства требований: его легко наносить и обрабатывать; удельное сопротивление имеет величину около 3 10 - 6 Ом см; он имеет хорошую адгезию к кремнию и SiO2, легко обеспечивает внешние соединения; образует хорошие омические контакты с кремнием; выдерживает плотности тока более 105 А / см2 при 150 С. Более того, алюминий относительно стоек против окисления и стабилен вплоть до температуры эвтектики с кремнием ( 577 С) в течение коротких промежутков времени.