Наряду с другими используемыми методами обработки материалов в последние годы все более широкое распространение получают ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Глушков В.М. Автоматизация проектирования в электронике Часть 1


Наряду с другими используемыми методами обработки материалов в последние годы все более широкое распространение получают электронно - и ионно-лу-чевые способы. Электронные пучки обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с другими инструментами, используемыми сейчас в микроэлектронике. Плотность мощности электронных пучков достигает величины порядка 10е em / ш2 и может легко регулироваться. Площадь взаимодействия электронного луча с обрабатываемым материалом уже сейчас доведена до тысячных долей квадратного микрона.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Наряду с другими используемыми методами обработки материалов в последние годы все более широкое распространение получают электронно - и ионно-лу-чевые способы. Электронные пучки обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с другими инструментами, используемыми сейчас в микроэлектронике. Плотность мощности электронных пучков достигает величины порядка 10е em / ш2 и может легко регулироваться. Площадь взаимодействия электронного луча с обрабатываемым материалом уже сейчас доведена до тысячных долей квадратного микрона.