На поверхность образца направляется зондирующий моноэнергетический пучок частиц ( электронов, фотонов или ионов), вызывающий эмиссию ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Виноградов А.В.
Зеркальная рентгеновская оптика
На поверхность образца направляется зондирующий моноэнергетический пучок частиц ( электронов, фотонов или ионов), вызывающий эмиссию вторичных частиц, анализ которых и позволяет извлечь информацию об элементном составе и других свойствах образца или поверхности. Обычно анализируются вторичные электроны или рентгеновские фотоны. Под действием зондирующего пучка происходит ионизация внутренних электронных оболочек атомов образца. Образующиеся при этом возбужденные ионы в процессе релаксации в основное состояние испускают вторичные электроны или рентгеновские фотоны, измеряя энергию которых можно однозначно установить, какие элементы ( а иногда и химические соединения) входят в состав образца.