Использование криосорбционных ловушек для получения сверхвысокого вакуума по сравнению с применением их для форвакуумной откачки ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 1
Использование криосорбционных ловушек для получения сверхвысокого вакуума по сравнению с применением их для форвакуумной откачки изучено гораздо меньше. Для расширения области рабочих давлений криосорбционных ловушек, для снижения общей газовой нагрузки и в особенности исходного давления более легких газов требуется предварительная откачка насосом какого-либо другого типа. Этот вопрос исследовался Ридом [101], который для предварительной откачки небольшой прогреваемой вакуумной системы до 10 - 9 мм рт. ст. использовал паромасляный диффузионный насос. Последующая сорбция на охлаждаемую жидким азотом ловушку из нержавеющей стали с заполнением цеолитом 13 X привела в результате к снижению давления до 5 10 11 мм рт. ст. Однако из его работы оставалось неясным, в какой мере это снижение было связано с присутствием цеолита. Инклей и Колеман [91] изучали криосорбционную откачку на небольшой системе из пирексового стекла, предварительно откачанной ртутным диффузионным насосом до 10 - 8 м рт. ст. Их ловушка представляла собой контейнер из нержавеющей стали с кассетами из монеля для различных адсорбентов. Активация ловушек охлаждением жидким азотом снижала давление до 5 10 - 10 мм рт. ст. Однако этот эффект не зависел от типа используемого адсорбента или даже от его наличия. Отсюда следует, что откачка неконденсируемых газов существенно улучшается за счет адсорбции на металлических поверхностях ловушки. Из экспериментов Инклея и Колемана становится очевидной и предельная адсорбционная емкость цеолитов в сверхвысоком вакууме. Эта конструкция является комбинацией охлаждаемых жидким азотом и жидким гелием шевронных отражателей, причем первая экранирует вторую, имеющую охлаждаемую гелием панель с цеолитом.