В основе процесса формирования внутреннего геттера в пластинах: ремния, вырезанных из выращиваемых по методу Чохральского ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
В основе процесса формирования внутреннего геттера в пластинах: ремния, вырезанных из выращиваемых по методу Чохральского моно-ристаллов, лежит хорошо контролируемый процесс распада пересыщен-юго твердого раствора кислорода. Как отмечалось, при распаде в шастине образуются кислородсодержащие преципитаты, инжектирующие t кристаллическую матрицу избыточные межузельные атомы кремния.
