Роль предыстории ( способа получения и условия формирования структуры объекта) раскрывается из анализа работы [52], ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Кузеев И.Р.
Сложные системы в природе и технике
Роль предыстории ( способа получения и условия формирования структуры объекта) раскрывается из анализа работы [52], где показано, что внутренние растягивающие напряжения пленок из элементов с высокой точкой плавления, нанесенных магнетронным распылением, достигает максимума, а затем уменьшается по мере роста средней кинетической энергии приходящих распыленных атомов. Это аналогично уменьшению концентрации распыленных частиц на конечных стадиях процесса формирования структуры. Напряжение становится сжимающим при высокой энергии ионов или при высокой интенсивности ионных потоков ( низкое давление распыленного вещества вблизи поверхности), тогда покрытие обладает высоким оптическим отражением и низким сопротивлением. Было показано, что внутренние растягивающие напряжения связаны исключительно с содержанием дефектов и распределением размера пустот, что определяется кинетической энергией приходящих частиц. При очень низких кинетических энергиях атомов на начальных стадиях конденсации в пленку ( высокая концентрация частиц в распыленной части системы) структура изобилует дефектами - большими микропорами, открытыми пустотами, и заметно преобладание микростолбцов.