В данной работе экспериментально исследовались поверхности тонких диэлектрических пленок, нанесенных на поверхность полупроводниковой подложки. Методом ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Сборник Н.Т.
Фракталы и прикладная синергетика
В данной работе экспериментально исследовались поверхности тонких диэлектрических пленок, нанесенных на поверхность полупроводниковой подложки. Методом атомно-силовой микроскопии исследовались слои BN, SiCh, SixNyOz, полученные плазмохимическим методом, а также их двойные композиции.
