В работе [51] был использован метод высокочастотного кольцевого разряда с внешними электродами. Этот метод по ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Разуваев Г.А.
Металлоорганические соединения в электронике
В работе [51] был использован метод высокочастотного кольцевого разряда с внешними электродами. Этот метод по сравнению с тлеющим разрядом постоянного тока позволяет получать пленки при более низких давлениях химического соединения, повышает воспроизводимость состава пленок и позволяет избежать загрязнения пленок материалом электродов.
![В работе [51] был использован метод высокочастотного кольцевого разряда с внешними электродами. Этот метод по сравнению с тлеющим разрядом постоянного тока позволяет получать пленки при более низких давлениях химического соединения, повышает воспроизводимость состава пленок и позволяет избежать загрязнения пленок материалом электродов.](/pic/58102122CbFjyI0022369403.png)