Аналогия с биллиардной игрой объясняет ( по крайней мере до известной степени) предпочтительный выброс распыляемых ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Аналогия с биллиардной игрой объясняет ( по крайней мере до известной степени) предпочтительный выброс распыляемых атомов в направлениях плотной упаковки кристаллической решетки. Однако не следует упускать из вида некоторые важные различия между распылением атомов и столкновением биллиардных шаров. При больших скоростях бомбардировки нужно не только уменьшать относительные размеры биллиардных шаров, но и помнить, что эти шары уже не являются твердыми сферами и не могут оставаться неповрежденными. Некоторые атомы, особенно в случае металлических поверхностей, загрязненных адсорбированными примесями, или в случае диэлектрических мишеней, могут испускаться в возбужденном состоянии или в виде отрицательных или положительных ионов. Вследствие этого существует разница, которую часто не замечают, между ионно-лучевым распылением в отсутствие электрического поля и ионно-плазмепным распылением, при котором мишень находится под отрицательным потенциалом относительно окружающей ее плазмы. В последнем случае испускаемые положительные ионы возвращаются обратно на мишень, тогда как отрицательные ионы ( как и вторичные электроны) ускоряются в направлении от поверхности мишени. Эти отрицательные ионы ( часто кислород или углеводороды) могут вызвать вторичное распыление материала на подложке или где-либо в устройстве, куда они еще могут попасть. Mace-спектрометрический анализ положительных ионов, выбитых из мишени путем ионно-лучевого распыления, обнаружил удивительное и еще не объясненное явление: часто многие из распыленных ионов представляют собой целые заряженные скопления атомов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Аналогия с биллиардной игрой объясняет ( по крайней мере до известной степени) предпочтительный выброс распыляемых атомов в направлениях плотной упаковки кристаллической решетки. Однако не следует упускать из вида некоторые важные различия между распылением атомов и столкновением биллиардных шаров. При больших скоростях бомбардировки нужно не только уменьшать относительные размеры биллиардных шаров, но и помнить, что эти шары уже не являются твердыми сферами и не могут оставаться неповрежденными. Некоторые атомы, особенно в случае металлических поверхностей, загрязненных адсорбированными примесями, или в случае диэлектрических мишеней, могут испускаться в возбужденном состоянии или в виде отрицательных или положительных ионов. Вследствие этого существует разница, которую часто не замечают, между ионно-лучевым распылением в отсутствие электрического поля и ионно-плазмепным распылением, при котором мишень находится под отрицательным потенциалом относительно окружающей ее плазмы. В последнем случае испускаемые положительные ионы возвращаются обратно на мишень, тогда как отрицательные ионы ( как и вторичные электроны) ускоряются в направлении от поверхности мишени. Эти отрицательные ионы ( часто кислород или углеводороды) могут вызвать вторичное распыление материала на подложке или где-либо в устройстве, куда они еще могут попасть. Mace-спектрометрический анализ положительных ионов, выбитых из мишени путем ионно-лучевого распыления, обнаружил удивительное и еще не объясненное явление: часто многие из распыленных ионов представляют собой целые заряженные скопления атомов.