Газовый разряд возникает в результате приложения к электродам постоянного напряжения. При включении ВЧ-поля ( с ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Разуваев Г.А. Металлоорганические соединения в электронике


Газовый разряд возникает в результате приложения к электродам постоянного напряжения. При включении ВЧ-поля ( с частотой 1 - 12 Мгц) начинается процесс разложения тстраэтоксисилапа с выделением двуокиси кремния в виде пленки.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Газовый разряд возникает в результате приложения к электродам постоянного напряжения. При включении ВЧ-поля ( с частотой 1 - 12 Мгц) начинается процесс разложения тстраэтоксисилапа с выделением двуокиси кремния в виде пленки.