Такими покрытиями являются слои фос-форно-силикатного стекла, оксида, нитрида и оксинитрида кремния и поликремния, арсе-нид-фосфид индия, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Верховский Е.И.
Пожарная безопасность на предприятиях радиоэлектроники
Такими покрытиями являются слои фос-форно-силикатного стекла, оксида, нитрида и оксинитрида кремния и поликремния, арсе-нид-фосфид индия, кремния, арсенида галлия.