Такими покрытиями являются слои фос-форно-силикатного стекла, оксида, нитрида и оксинитрида кремния и поликремния, арсе-нид-фосфид индия, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Верховский Е.И. Пожарная безопасность на предприятиях радиоэлектроники


Такими покрытиями являются слои фос-форно-силикатного стекла, оксида, нитрида и оксинитрида кремния и поликремния, арсе-нид-фосфид индия, кремния, арсенида галлия.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Такими покрытиями являются слои фос-форно-силикатного стекла,  оксида,  нитрида и оксинитрида кремния и поликремния,  арсе-нид-фосфид индия,  кремния,  арсенида галлия.