Существует несколько способов формирования ионного потока, бомбардирующего мишень, изготовленную из материала, который необходимо распылить. Тлеющий ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Борисенко А.С. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств


Существует несколько способов формирования ионного потока, бомбардирующего мишень, изготовленную из материала, который необходимо распылить. Тлеющий разряд служит наиболее распространенным источником бомбардирующих ионов невысоких энергий. Его обычно зажигают, подводя высокое напряжение к двум плоским электродам, помещенным в газовую среду при низком давлении от 3 до 0 13 Па. Тип разряда, возникающего между двумя электродами, зависит от давления газов, приложенного напряжения, конфигурации электродов и плотности разрядного тока. На рис. 16 приведена вольт-амперная характеристика разряда между двумя плоскими электродами в газе при давлении от 13 3 до 0 133 Па. При достижении определенного значения напряжения ( пробивного) наступает резкий пробой газового промежутка. В этой области, известной под названием области таусендовского разряда, при постоянном напряжении между электродами ток может увеличиваться. При дальнейшем возрастании тока достигается другая область с постоянным напряжением разряда, известная под названием нормального тлеющего разряда. Если величина тока превосходит определенное значение, то по мере возрастания тока напряжение между электродами растет, наступает аномальный тлеющий разряд. При дальнейшем увеличении тока напряжение между электродами быстро падает и возникает дуговой разряд.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Существует несколько способов формирования ионного потока, бомбардирующего мишень, изготовленную из материала, который необходимо распылить. Тлеющий разряд служит наиболее распространенным источником бомбардирующих ионов невысоких энергий. Его обычно зажигают, подводя высокое напряжение к двум плоским электродам, помещенным в газовую среду при низком давлении от 3 до 0 13 Па. Тип разряда, возникающего между двумя электродами, зависит от давления газов, приложенного напряжения, конфигурации электродов и плотности разрядного тока. На рис. 16 приведена вольт-амперная характеристика разряда между двумя плоскими электродами в газе при давлении от 13 3 до 0 133 Па. При достижении определенного значения напряжения ( пробивного) наступает резкий пробой газового промежутка. В этой области, известной под названием области таусендовского разряда, при постоянном напряжении между электродами ток может увеличиваться. При дальнейшем возрастании тока достигается другая область с постоянным напряжением разряда, известная под названием нормального тлеющего разряда. Если величина тока превосходит определенное значение, то по мере возрастания тока напряжение между электродами растет, наступает аномальный тлеющий разряд. При дальнейшем увеличении тока напряжение между электродами быстро падает и возникает дуговой разряд.