Выдержка из книги
Колотыркин Я.М.
Физическая химия современные проблемы 1982
Рассмотренные в этом разделе методы используют для изучения структуры и химического состава тонких пленок и поверхности оксидных материалов, применяемых в электронной технике и смежных областях.