Химические реакции при получении органических пленок в тлеющем разряде состоят из двух стадий: образования активных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Иванов-Есипович Н.К.
Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры
Химические реакции при получении органических пленок в тлеющем разряде состоят из двух стадий: образования активных частиц и собственно химические реакции на поверхности подложки.
