При исследовании поверхностной электропроводности полупроводников в газовом цикле: сухой кислород - озонированный кислород - влажный ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гаркуша Ж.М. Основы физики полупроводников


При исследовании поверхностной электропроводности полупроводников в газовом цикле: сухой кислород - озонированный кислород - влажный кислород ( цикл Браттейна - Бардина) было установлено, что в атмосфере сухого кислорода на поверхности полупроводника устанавливается такой поверхностный заряд, что независимо от типа электропроводности уровень Ферми располагается в кристалле близко к середине запрещенной зоны. Во влажной атмосфере на поверхности образуется положительный заряд. Из рисунка видно, что независимо от типа электропроводности в случае слабого легирования полупроводника на поверхности образуется я-слой. Атмосфере озонированного кислорода соответствует максимальное отрицательное значение поверхностного заряда.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

При исследовании поверхностной электропроводности полупроводников в газовом цикле: сухой кислород - озонированный кислород - влажный кислород ( цикл Браттейна - Бардина) было установлено, что в атмосфере сухого кислорода на поверхности полупроводника устанавливается такой поверхностный заряд, что независимо от типа электропроводности уровень Ферми располагается в кристалле близко к середине запрещенной зоны. Во влажной атмосфере на поверхности образуется положительный заряд. Из рисунка видно, что независимо от типа электропроводности в случае слабого легирования полупроводника на поверхности образуется я-слой. Атмосфере озонированного кислорода соответствует максимальное отрицательное значение поверхностного заряда.