Реактивное распыление и распыление в высокочастотном разряде относятся к методу ионно-плазменного распыления. Сущность этого метода ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гаркуша Ж.М. Основы физики полупроводников


Реактивное распыление и распыление в высокочастотном разряде относятся к методу ионно-плазменного распыления. Сущность этого метода заключается в следующем: мишень из материала, который нужно распылить, бомбардируется быстрыми ионами газа, в результате чего с ее поверхности выбиваются атомы, осаждающиеся на расположенных вблизи подложках. Источником ионов служит плазма тлеющего разряда, возникающего в среде инертного газа.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Реактивное распыление и распыление в высокочастотном разряде относятся к методу ионно-плазменного распыления. Сущность этого метода заключается в следующем: мишень из материала, который нужно распылить, бомбардируется быстрыми ионами газа, в результате чего с ее поверхности выбиваются атомы, осаждающиеся на расположенных вблизи подложках. Источником ионов служит плазма тлеющего разряда, возникающего в среде инертного газа.