Это есть следствие главным образом двух процессов. Во-первых, повышение энергии распыленных частиц приводит к их ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Эпитаксиальные пленки


Это есть следствие главным образом двух процессов. Во-первых, повышение энергии распыленных частиц приводит к их более высокой подвижности на поверхности после соударения. Благодаря этому пленки, полученные распылением, по структурным характеристикам эквивалентны обычным конденсатам, образующимся при более высоких температурах. Во-вторых, высокая энергия распыления атомов способствует очистке подложки от примесей.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Это есть следствие главным образом двух процессов. Во-первых, повышение энергии распыленных частиц приводит к их более высокой подвижности на поверхности после соударения. Благодаря этому пленки, полученные распылением, по структурным характеристикам эквивалентны обычным конденсатам, образующимся при более высоких температурах. Во-вторых, высокая энергия распыления атомов способствует очистке подложки от примесей.