Атомы отдачи, двигаясь в твердом веществе, сначала затрачивают свою энергию на ионизацию атомов среды. Затем происходят неупругие атом-атомные столкновения - так называемое ре-зерфордовское рассеяние, при котором атом отдачи проходит в среде путь, равный 100 - 1000 А. Далее начинаются соударения по типу жестких сфер.