Выдержка из книги
Нашельский А.Я.
Технология полупроводниковых материалов
Поскольку образующийся на первой стадии оксид германия ( II) имеет высокое давление пара при температурах свыше 700 С и легко возгоняется, процесс восстановления проводят при более низких температурах. Продолжительность его определяется насыпной массой оксида германия ( IV) и высотой его слоя в графитовой лодочке. Окончание процесса восстановления определяют по содержанию влаги в водороде, выходящем из печи восстановления.