Поскольку образующийся на первой стадии оксид германия ( II) имеет высокое давление пара при температурах ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов


Поскольку образующийся на первой стадии оксид германия ( II) имеет высокое давление пара при температурах свыше 700 С и легко возгоняется, процесс восстановления проводят при более низких температурах. Продолжительность его определяется насыпной массой оксида германия ( IV) и высотой его слоя в графитовой лодочке. Окончание процесса восстановления определяют по содержанию влаги в водороде, выходящем из печи восстановления.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Поскольку образующийся на первой стадии оксид германия ( II) имеет высокое давление пара при температурах свыше 700 С и легко возгоняется,  процесс восстановления проводят при более низких температурах.  Продолжительность его определяется насыпной массой оксида германия ( IV) и высотой его слоя в графитовой лодочке.  Окончание процесса восстановления определяют по содержанию влаги в водороде,  выходящем из печи восстановления.