Важным материалом в электронолитографии являются электронорезисты, чувствительные к электронам и позволяющие проводить необходимую химическую или ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Боков Ю.С.
Введение в фотолитографию
Важным материалом в электронолитографии являются электронорезисты, чувствительные к электронам и позволяющие проводить необходимую химическую или ионную обработку. В качестве таких электронорезистов можно использовать обычные фоторезисты, как позитивные, так и негативные. Исследования показали, однако, что их разрешающая способность недостаточна из-за того, что получаемая экспонированная линия значительно шире диаметра электронного пучка.