Важным материалом в электронолитографии являются электронорезисты, чувствительные к электронам и позволяющие проводить необходимую химическую или ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Боков Ю.С. Введение в фотолитографию


Важным материалом в электронолитографии являются электронорезисты, чувствительные к электронам и позволяющие проводить необходимую химическую или ионную обработку. В качестве таких электронорезистов можно использовать обычные фоторезисты, как позитивные, так и негативные. Исследования показали, однако, что их разрешающая способность недостаточна из-за того, что получаемая экспонированная линия значительно шире диаметра электронного пучка.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Важным материалом в электронолитографии являются электронорезисты,  чувствительные к электронам и позволяющие проводить необходимую химическую или ионную обработку.  В качестве таких электронорезистов можно использовать обычные фоторезисты,  как позитивные,  так и негативные.  Исследования показали,  однако,  что их разрешающая способность недостаточна из-за того,  что получаемая экспонированная линия значительно шире диаметра электронного пучка.