Энергии ионов и нейтральных атомов водорода недостаточны в любом из рассматриваемых случаев для физического распыления ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Кузнецов Ф.А.
Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок Ч 2
Энергии ионов и нейтральных атомов водорода недостаточны в любом из рассматриваемых случаев для физического распыления электродов, но поскольку происходит легирование эпитаксиального слоя, то, видимо, происходит и так называемое химическое распыление электродов, для которого энергия падающих ионов и атомов не имеет значения.
