Теперь рассмотрим трехэлектродную систему высокочастотного ионного распыления диэлектриков. Как было сказано ранее, область электрод - ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Теперь рассмотрим трехэлектродную систему высокочастотного ионного распыления диэлектриков. Как было сказано ранее, область электрод - плазма функционирует подобно выпрямляющему переходу. Поэтому если в цепь высокой частоты ввести разделительный конденсатор, то в результате зарядки этого конденсатора электрод большую часть времени будет отрицательным относительно плазмы.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Теперь рассмотрим трехэлектродную систему высокочастотного ионного распыления диэлектриков. Как было сказано ранее, область электрод - плазма функционирует подобно выпрямляющему переходу. Поэтому если в цепь высокой частоты ввести разделительный конденсатор, то в результате зарядки этого конденсатора электрод большую часть времени будет отрицательным относительно плазмы.