Другим методом получения пленок сплавов является одновременное ионное распыление составных мишеней. Одно из важных преимуществ ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Другим методом получения пленок сплавов является одновременное ионное распыление составных мишеней. Одно из важных преимуществ этого метода состоит в том, что с его помощью можно получать и исследовать большое разнообразие составов осаждаемого материала для одной и той же системы мишеней путем независимого изменения скоростей распыления отдельных мишеней. Однако следует иметь в виду, что при этом могут появиться неожиданные и нежелательные эффекты.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Другим методом получения пленок сплавов является одновременное ионное распыление составных мишеней. Одно из важных преимуществ этого метода состоит в том, что с его помощью можно получать и исследовать большое разнообразие составов осаждаемого материала для одной и той же системы мишеней путем независимого изменения скоростей распыления отдельных мишеней. Однако следует иметь в виду, что при этом могут появиться неожиданные и нежелательные эффекты.